泛半导体废气治理|天得一方案落地天域半导体

发布日期:2026-03-05 来源:天得一 阅读量:15

    泛半导体(芯片、显示、光伏、半导体照明等)是国家战略性高端产业,其生产过程产生的废气具有高毒有害、成分复杂、浓度波动大、处理要求极高的特点,对治理系统的安全性、稳定性、精度要求远超普通行业。
    深圳市天得一环境科技有限公司,深耕工业废气治理多年,聚焦泛半导体产业CVD、外延、刻蚀、清洗、显影等关键工序,针对VOCs、强酸强碱、特种高危气体、硅烷类废气,提供高精度、高安全、高可靠性的一体化治理解决方案,已成功服务天域半导体等行业头部企业,以技术实力与标杆案例,成为泛半导体废气治理领域可靠伙伴。

 

一、公司实力与权威资质
作为国家高新技术企业、专精特新 “小巨人” 企业,天得一具备服务高端制造的全链条能力;
拥有环境工程设计、环保工程承包、机电安装等全资质;
通过 ISO9001、ISO14001、ISO45001 等体系认证;
自主研发核心设备,具备设计 — 生产 — 施工 — 运维全流程交付能力;
多年半导体级项目实战经验,安全稳定、长期达标。

 

二、泛半导体行业废气治理痛点
泛半导体产业链在电子化学品生产、CVD、外延检修、刻蚀、显影、清洗等环节产生的废气主要包括:
1. 酮类、醇类、烃类等 VOCs
2. 氟化物、氯化氢、硫酸雾、氨等 酸碱气体
3. SiH₄、PH₃、B₂H₆、AsH₃、PFCs 等 高危特气
废气治理的核心:将极高危工艺废气通过精密、可靠、协同的系统,安全转化为稳定无害物质,是生产安全与环保达标关键。

 

三、天得一核心治理设备与方案
1. 干式吸附设备(Dry Scrubber)
采用专研吸附剂,牢牢固定有害成分,生成稳定固态化合物;尾气进入多级酸碱塔 + 吸附中央系统,安全稳定。
2. 多级水洗设备(Wet Scrubber)
自主研发,六级及以上水洗室,气液充分接触,净化效率 ≥ 99%,适配泛半导体常规酸碱与 VOCs 废气。
3. 电热水洗设备(Heat Wet Scrubber)
可处理 1000℃内可分解特气,净化效率高达 99.9%,裂解 + 燃烧 + 冷凝,安全彻底。
4. 电热水冷设备(HC Scrubber)
专为氢气、氨气定制,高温裂解 + 燃烧 + 多级冷凝,净化效率 99.9%。
5. 等离子水洗设备(Plasma Wet Scrubber)
反应温度 1500–3000℃,净化效率 ≥ 99.9%,适用范围更广、处理更彻底。
6. 硅烷燃烧水洗塔
自研新型专用设备,燃烧 + 吸收 + 清灰一体化,净化效率高达 99.99%,专门应对硅烷类高危废气。

 

四、成功案例:天域半导体
天域半导体是国内前三的碳化硅外延片制造商,生产过程产生非甲烷总烃、酸雾、氨气等复杂废气。
治理方案:预处理 + 两级活性炭深度吸附 + 酸碱塔吸收
项目成果:系统稳定运行、排放长期达标、安全无隐患,成为泛半导体废气治理标杆示范项目。

五、我们的核心优势
高安全:全流程防爆、防腐蚀、防泄漏设计
高精度:适配半导体级严苛废气标准
高效率:核心设备净化效率最高可达 99.99%
全案例验证:头部半导体企业实战背书
一站式交付:方案、设备、施工、运维全覆盖
天得一,以硬核技术守护泛半导体产业安全,助力中国高端制造绿色高质量发展。