方案概述
在半导体生产的晶圆切割、化学机械抛光(CMP)、光刻及清洗等制程中,会产生含氟、含氨、研磨颗粒及有机溶剂(如 TMAH)的复杂废水,高氟废水兼具强腐蚀性与高毒性,CMP 废水中的微小颗粒则因难以去除,若直接排放将对水体造成不可逆的破坏。针对这一废水特性,我司打造了定制化处理方案,通过精准处理各类污染物,可有效降低废水危害,确保达标排放,为半导体生产企业的环保运营提供有力保障。
含氟废水:采用“二级沉淀 + 结晶流化床”技术,实现氟化物深度去除与资源化。
CMP废水:应用“高效混凝 + 膜过滤”组合,有效去除纳米级二氧化硅颗粒。
综合废水:整合离子交换、RO/EDI等技术,实现高标准回用。
