方案概述
半导体制造领域涉及的废气种类繁多,核心涵盖普通气体排放、含毒性成分废气、有机挥发性化合物(VOCs)以及酸碱性废气。该行业广泛运用特种气体、强酸强碱等化学品及大量有机溶剂与挥发性介质,这些物质在加工过程中不可避免地生成上述废气。同时,化学品存储区(如固废仓库)及特定作业环境亦成为废气污染的关键源。鉴于半导体行业的独特性,天得一公司提供全面的污染物在线监控体系方案,确保精准、高效地监测并管理各类废气排放。
方案内容
方案特点
防爆设计
安全可靠
安全性高
断电自启
运行稳定
自动校准功能
在线监测
数据精准
维护成本低
气相色谱法,寿命长
核心产品