方案概述

半导体制造领域涉及的废气种类繁多,核心涵盖普通气体排放、含毒性成分废气、有机挥发性化合物(VOCs)以及酸碱性废气。该行业广泛运用特种气体、强酸强碱等化学品及大量有机溶剂与挥发性介质,这些物质在加工过程中不可避免地生成上述废气。同时,化学品存储区(如固废仓库)及特定作业环境亦成为废气污染的关键源。鉴于半导体行业的独特性,天得一公司提供全面的污染物在线监控体系方案,确保精准、高效地监测并管理各类废气排放。

方案内容

  • 1、粉尘废气监测:针对半导体制造全链条中产生的粉尘废气,我们部署了基于激光散射技术的先进在线监测仪,实现精准、实时地粉尘浓度监测,确保生产环境洁净度。
  • 2、锅炉废气监控:针对厂区蒸汽与燃气锅炉排放的氮氧化物等关键污染物,采用高性能CEMS(烟气排放连续监测系统),确保对锅炉废气排放的全面、准确监控。
  • 3、有机废气治理:针对半导体制造过程中释放的非甲烷总烃、总VOCs及苯系物等有机废气,我们配置专业的非甲烷总烃在线监测系统,精确捕捉并监测有害气体。
  • 4、酸碱废气监测:鉴于氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物及氯气等酸碱废气的特殊性与潜在危害,选用基于电化学原理的酸碱在线监测仪,实现精确测量与及时预警。
  • 5、信息化平台整合:所有监测系统的数据均通过统一采集平台汇总至企业信息化管理系统,实现数据的可视化管理与分析,为企业决策提供科学依据。
  • 立即咨询

方案特点

  • 防爆设计

    安全可靠

  • 安全性高

    断电自启

  • 运行稳定

    自动校准功能

  • 在线监测

    数据精准

  • 维护成本低

    气相色谱法,寿命长

核心产品