在半导体行业，特气（特种气体）广泛应用于高科技制造，其生产后端排出的废气具有风量小、浓度高、多含爆炸性与腐蚀性气体（如氮气、氢气、硅烷类、氯化氢、氟化物等）的特点，对废气治理技术的专业性、安全性和高效性提出严苛挑战。天得一深耕半导体行业特气废气治理领域，以创新技术与定制化方案，为行业绿色发展保驾护航。

天得一半导体行业特气废气治理核心方案

1. 智能联动系统架构
天得一采用 Local Scrubber + 中央尾气处理系统 ，通过智能联动控制器实现与客户生产系统的深度协同。该系统可智能切换处理模式：针对一般有机废气（如挥发性溶剂）和毒腐性气体（如氯化氢、氟化物），快速响应工艺需求，确保废气在不同特性下均能高效净化，全程精准控制，达标排放无忧。
2. 技术优势与适配性
针对性处理：针对半导体特气 “低风量、高浓度、强腐蚀 / 爆炸性” 特性，Local Scrubber 先对局部高浓度废气进行预处理（如喷淋吸收腐蚀性成分、催化分解易燃易爆气体），再通过中央系统集中净化，分层治理，提升效率。
安全可靠：系统配备防爆、防腐设计，对硅烷类、氟化物等高危气体，采用专用吸附、分解技术（如化学洗涤、催化氧化），从源头消除安全隐患。
智能运维：通过物联网与自动化控制，实时监测废气成分、浓度及设备运行状态，远程调控、故障预警，确保系统稳定运行，降低运维成本。
3. 多场景应用与标杆案例
天得一的半导体行业特气废气治理方案，已成功应用于某新能源龙头企业等半导体生产基地，覆盖光刻、刻蚀、CVD（化学气相沉积）等关键工序废气治理。以 CVD 工序为例，针对硅烷、磷化氢等剧毒特气，通过 “Local Scrubber 前端净化 + 中央系统深度处理”，实现废气中有害成分的高效去除，排放指标远超行业标准，为企业绿色生产筑牢环保防线。

半导体行业的高速发展，对特气废气治理提出更高要求。天得一以专业技术、智能方案、标杆案例，深度赋能半导体行业特气废气治理，为企业解决环保痛点，推动行业在绿色发展之路上行稳致远。